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真空鍍膜是一種產(chǎn)生薄膜材料的技術。在真空室內(nèi)材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表面上。
然而，真空鍍膜機的先決條件是要確保真空腔室具有良好穩(wěn)定的真空度。目前，真空鍍膜設備密封形式多采用單根橡膠圈密封，這種密封形式適用于較小密封面的密封，對于較大密封面采用該種密封方式容易出現(xiàn)密封效果不佳的問題。
提供一種安全可靠的真空鍍膜設備，本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。
蒸發(fā)鍍膜與手套箱組合，實現(xiàn)蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作，使整個薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中，消除有機大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響，保障了高性能、大面積有機光電器件和電路的制備。
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