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pvd鍍膜機(jī)
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嵊州安全可靠的真空鍍膜機(jī)設(shè)備

2023-12-25 16:30:36

真空鍍膜是一種產(chǎn)生薄膜材料的技術(shù)。在真空室內(nèi)材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表面上。

然而,真空鍍膜機(jī)的先決條件是要確保真空腔室具有良好穩(wěn)定的真空度。目前,真空鍍膜設(shè)備密封形式多采用單根橡膠圈密封,這種密封形式適用于較小密封面的密封,對(duì)于較大密封面采用該種密封方式容易出現(xiàn)密封效果不佳的問題。

提供一種安全可靠的真空鍍膜設(shè)備,本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測(cè)。

蒸發(fā)鍍膜與手套箱組合,實(shí)現(xiàn)蒸鍍、封裝、測(cè)試等工藝全封閉制作,使整個(gè)薄膜生長(zhǎng)和器件制備過程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中,消除有機(jī)大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響,保障了高性能、大面積有機(jī)光電器件和電路的制備。


真空鍍膜機(jī)設(shè)備


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