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清遠真空鍍膜機原理概述

2023-12-25 16:45:41

真空鍍膜機原理                                                         

真空鍍膜機是真空生產中應較廣泛的真空設備。一般由真空室、真空單元和電氣控制柜組成。排氣系統由“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+多芯”組成。專業(yè)從事真空鍍膜設備的研發(fā)和生產,擁有經驗豐富的技術隊伍和高素質的售后服務隊伍,解決設備使用中遇到的任何問題。其次,詳細介紹了真空鍍膜機各部分的組成和工作原理。

1、 根據加工產品的要求,實際型腔的尺寸也不同。目前使用最廣泛的有1.3m、0.9m、1.5m、1.8m等,腔體采用不銹鋼“靶材”=37911;坯料>不銹鋼制成,要求不生銹、堅固。真空室的每個部分都設有連接閥,以連接泵。

2、 輔助泵送系統:排氣系統是涂布機真空系統的重要組成部分,主要由機械泵、增壓泵(主要引進羅茨泵)和油擴散泵組成。排氣系統由“擴散泵+機械泵+羅茨泵+冷阱+多芯”組成。排氣過程如下:機械泵先將真空室抽至小于2.0*10-2Pa的低真空狀態(tài),為后續(xù)擴散泵抽真空提供了前提。隨后,當擴散泵抽真空腔時,機械泵與油擴散泵串聯,完成抽氣作業(yè)。

機械泵:又稱前級泵,是應用較廣泛的低真空泵。利用機械抽氣的方法不斷地擴大泵腔中的氣體體積,從而達到保持容器內氣體體積不斷變化的目的。

1機械泵的分類:機械泵有多種類型,包括滑閥式(主要用于大型設備)、往復活塞式、固定板式和旋片式。

2機械泵是在大氣中工作的。其主要參數包括極限真空度和抽速,是機械泵設計和選型的重要依據。單級泵可將容器從大氣中抽至1.0*10-1pa的極限真空,而兩級機械泵可將容器從大氣中抽至6.7*10-2Pa,甚至更高。泵送速率是指葉片泵在額定轉速下運行時,單位時間內可排出的氣體量。由下式計算:sth=2nvs=2nfsl FS為吸入端空腔的截面積,l為空腔的長度,系數表示轉子每轉有兩個排氣過程,vs表示轉子處于水平位置時,機械泵的排氣效果也與電機轉速和皮帶松緊度有關。當電機皮帶比較松,電機轉速很慢時,機械泵的排氣效果會變差。因此,需要定期維護和點檢。機械泵油的密封效果也需要經常檢查。如果油太少,機械泵的密封效果就達不到。泵內會漏氣,油量過多,會堵塞吸入孔,無法吸氣和排氣,一般情況下,油位線以下0.5cm就足夠了。


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