真空鍍膜機(jī)原理                                                         

真空鍍膜機(jī)是真空生產(chǎn)中應(yīng)較廣泛的真空設(shè)備。一般由真空室、真空單元和電氣控制柜組成。排氣系統(tǒng)由“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+多芯”組成。專業(yè)從事真空鍍膜設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)，擁有經(jīng)驗豐富的技術(shù)隊伍和高素質(zhì)的售后服務(wù)隊伍，解決設(shè)備使用中遇到的任何問題。其次，詳細(xì)介紹了真空鍍膜機(jī)各部分的組成和工作原理。

1、 根據(jù)加工產(chǎn)品的要求，實際型腔的尺寸也不同。目前使用最廣泛的有1.3m、0.9m、1.5m、1.8m等，腔體采用不銹鋼“靶材”=37911;坯料＞不銹鋼制成，要求不生銹、堅固。真空室的每個部分都設(shè)有連接閥，以連接泵。

2、 輔助泵送系統(tǒng)：排氣系統(tǒng)是涂布機(jī)真空系統(tǒng)的重要組成部分，主要由機(jī)械泵、增壓泵（主要引進(jìn)羅茨泵）和油擴(kuò)散泵組成。排氣系統(tǒng)由“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+冷阱+多芯”組成。排氣過程如下：機(jī)械泵先將真空室抽至小于2.0*10-2Pa的低真空狀態(tài)，為后續(xù)擴(kuò)散泵抽真空提供了前提。隨后，當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空腔時，機(jī)械泵與油擴(kuò)散泵串聯(lián)，完成抽氣作業(yè)。

機(jī)械泵：又稱前級泵，是應(yīng)用較廣泛的低真空泵。利用機(jī)械抽氣的方法不斷地擴(kuò)大泵腔中的氣體體積，從而達(dá)到保持容器內(nèi)氣體體積不斷變化的目的。

1機(jī)械泵的分類：機(jī)械泵有多種類型，包括滑閥式（主要用于大型設(shè)備）、往復(fù)活塞式、固定板式和旋片式。

2機(jī)械泵是在大氣中工作的。其主要參數(shù)包括極限真空度和抽速，是機(jī)械泵設(shè)計和選型的重要依據(jù)。單級泵可將容器從大氣中抽至1.0*10-1pa的極限真空，而兩級機(jī)械泵可將容器從大氣中抽至6.7*10-2Pa，甚至更高。泵送速率是指葉片泵在額定轉(zhuǎn)速下運行時，單位時間內(nèi)可排出的氣體量。由下式計算：sth=2nvs=2nfsl FS為吸入端空腔的截面積，l為空腔的長度，系數(shù)表示轉(zhuǎn)子每轉(zhuǎn)有兩個排氣過程，vs表示轉(zhuǎn)子處于水平位置時，機(jī)械泵的排氣效果也與電機(jī)轉(zhuǎn)速和皮帶松緊度有關(guān)。當(dāng)電機(jī)皮帶比較松，電機(jī)轉(zhuǎn)速很慢時，機(jī)械泵的排氣效果會變差。因此，需要定期維護(hù)和點檢。機(jī)械泵油的密封效果也需要經(jīng)常檢查。如果油太少，機(jī)械泵的密封效果就達(dá)不到。泵內(nèi)會漏氣，油量過多，會堵塞吸入孔，無法吸氣和排氣，一般情況下，油位線以下0.5cm就足夠了。