在真空鍍膜設備自動控制系統(tǒng)中，控制系統(tǒng)的性能指標是其精度、可靠性和實現速度。對于真空壓力的自動控制和調節(jié)系統(tǒng)，有許多指標的要求。                                           

1、自動控制系統(tǒng)的穩(wěn)定性

當自動控制系統(tǒng)的給定值發(fā)生變化或受到干擾時，控制量會發(fā)生變化并偏離初始值。由于受反饋環(huán)節(jié)的影響，裝置可利用設備內部控制系統(tǒng)的自動調節(jié)功能，調整到回到原來的穩(wěn)定值，或在給定值下緩慢穩(wěn)定。然而，由于系統(tǒng)內部的相互影響，系統(tǒng)的狀態(tài)也可能是不穩(wěn)定的。因此，對于所有的自動控制系統(tǒng)，我們的首要要求是滿足系統(tǒng)的穩(wěn)定性。

2、自動控制系統(tǒng)的動態(tài)特性

真空鍍膜機自動控制系統(tǒng)的動態(tài)性能指標是一系列系統(tǒng)暫態(tài)性能參數。一般來說，需要在系統(tǒng)中設定一個步進單元在某一時刻的給定值，然后根據系統(tǒng)過渡過程曲線上相應的參數來表示控制系統(tǒng)的“動態(tài)特性”，從而使這種控制系統(tǒng)在不同條件下的動態(tài)特性具有可比性。

（1） 振蕩頻率：控制量在給定時間內的振蕩次數。振蕩頻率越小，控制系統(tǒng)的動態(tài)性能越好。

（2） 作為速度調節(jié)系統(tǒng)的指標。調整時間，又稱恢復時間，是指控制系統(tǒng)接收到步進單位給定值的信號時，設備從過渡狀態(tài)到允許偏差恢復所需的短時間。

（3） 以系統(tǒng)穩(wěn)態(tài)偏差作為控制指標。在步進單元給定值的影響下，器件過渡到穩(wěn)態(tài)時的殘余差。

（4） 偏差大：控制量與給定值的偏差差。過渡過程曲線的峰值與給定值的差值。

（5） 衰減比：用于測量控制系統(tǒng)的穩(wěn)定性指標。指同一方向上相鄰兩個波的振幅比，一般在4:1到10:1之間。